一、简介

传统双频激光干涉仪（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用传统的空间光传输，最高分辨率可达0.077nm，它具有优越的测量性能以及实时闭环反馈功能，主要应用于亚纳米精密测量领域。

上海拍频光电科技有限公司自主开发的传统双频激光干涉仪系统，主要特点如下：

•支持位移、速度、角度测量

•采用平镜干涉仪测量，达到4倍光学细分

•具有高数据采样率，支持位移和速度的实时闭环反馈

•采用双频干涉技术，抗干扰能力强，易进行多轴扩展，测量结果噪声低

•单块数字信号处理器支持完全相互独立的6轴同时测量，并支持多处理器级联

二、系统构成

传统双频激光干涉仪的主要架构如下图所示。

传统双频激光干涉仪主要由双频激光器、激光器可调底座、导光元件、导光元件可调底座、光学干涉仪、光纤耦合器、光纤、信号处理卡等部件组成。

三、性能参数

上海拍频光电科技有限公司研发的传统双频激光干涉仪，主要系统参数如下表：

备注：可定制VPX通讯接口，可定制更高测量分辨率。

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