在利用干涉仪进行位移测量时，光轴与运动轴不重合所导致的误差称为余弦误差，也叫着未准直误差，如下图所示。

假设运动方向与光轴夹角为β，则余弦误差可按下式计算：

可从以下两个方面降低余弦误差：

1）提高安装精度，即降低β角度，在实际光路装调的时候，可借助垂直度工装等工具降低β角，详情可联系我们；

2）通过算法对余弦误差进行实时补偿，详情可联系我们。

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