阿贝误差:由于测量轴和运动轴不重合,而且被测对象在运动过程中产生倾斜,导致测量的位移和实际位移不相等,两者差值即为阿贝误差。如下图所示,测量轴和运动轴间距为H,被测对象的倾斜角为Ɵ,则阿贝误差A=H*tgƟ。
阿贝误差示意图
上海拍频光电科技有限公司开发的多轴双频激光干涉仪,可实时测量Ɵ角度,进而对阿贝误差进行实时动态补偿。更多详情,请联系我们!www.spoe.com.cn