2023年5月20日“世界计量日”，“中国计量测试学会科学技术进步奖”在武汉举行了颁奖活动。上海拍频光电科技有限公司的项目-“悬臂光波导光栅亚纳米位移测量技术及应用”，荣获“2022年度中国计量测试学会科学技术进步奖”二等奖。

上海拍频光电科技有限公司长期致力于激光外差干涉技术研究及其国产化产品开发，包括双频激光干涉仪、光纤干涉仪和超精密光栅测量系统等系列产品，最高测量分辨率可达0.077nm，测量范围20米，测量稳定性优于1nm@5min，支持多轴同步。

此次“悬臂光波导光栅亚纳米位移测量技术及应用”项目，基于激光外差干涉原理，突破了双频光源、高效保偏光纤传输、高倍电子细分、弱信号探测等关键技术，研发了悬臂光波导光栅亚纳米位移测量新产品，已经在半导体装备、生物工程、高端制造等领域实现了产业化应用。