一）光纤双频激光干涉仪系列简介

上海拍频光电科技有限公司（以下简称上海拍频光电）开发的FDI光纤双频激光干涉仪系列产品，结合了光纤传输的便捷性和双频干涉技术的高精度等优点。按干涉仪工作方式分为光纤单轴干涉仪、光纤探针干涉仪和光纤差分干涉仪等几种。下面介绍光纤单轴干涉仪的典型应用场景——二维运动台的测量和闭环反馈。

二）二维运动台位置测量系统方案

众所周知，二维运动台在运动过程中需要有位移传感器对其X、Y位置进行实时测量，并将测量结果实时进行闭环反馈。传统的二维运动台大多采用两套光栅尺分别进行X和Y位置测量，但光栅测量有其局限性：1）光栅尺自身测量精度不够；2）光栅大多情况都贴在运动台边沿，因此会导致比较大的阿贝误差。因此，在一些高端二维运动台里面，已经开始逐步采用光纤干涉仪进行位置测量，系统方案如下图。在运动台的X和Y方向粘接一根长条反射镜，分别用一个光纤单轴干涉仪对其位置进行测量，干涉信号进入双频干涉控制器进行处理，解调出位置信息，并通过网口、SinCos、ABZ或者BISS等协议输出，即可用于上位机软件显示，也可直接接入电机驱动器进行运动台闭环反馈。

图1 光纤单轴干涉仪测量二维运动台

三）系统配置

图1的测量方案配置清单如下表。

表1 测量系统配置清单

四）主要技术指标

主要技术指标如下表。

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