针对双频干涉仪在真空环境下的应用需求，上海拍频光电科技有限公司开发了CF系列真空光学穿腔法兰，实物如图1所示，规格尺寸如图2和表1所示。

图1 CF系列真空光学穿腔法兰

图2 尺寸示意图

表1 规格尺寸表

该CF系列真空光学穿腔法兰，采用304不锈钢和熔石英光学玻璃，密封性好，稳定性高，主要参数如下：

1） 可适用于10^-5Pa真空度；

2） 光学透过率大于99%；

3） 玻璃窗片面型小于λ/20 @任意φ20mm；

4） 玻璃窗片平行度小于10角秒；

5） 使用波长633nm。