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上海拍频光电科技有限公司
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上海拍频光电科技有限公司荣获该奖项
案例8：用光纤差分干涉仪测量运动台与物镜的相对位置
案例7：用4个光纤单轴干涉仪测量运动台X、Y和Rz
案例6：用2个光纤单轴干涉仪测量运动台X和Y
上海拍频光电 |CIOE中国光博会圆满收官