光学干涉仪

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光学干涉仪镜组将参考光束和测量光束在空间上分离,测量光束经过被测反射镜的反射后,返回干涉仪与参考光束发生干涉,被测镜的位移信号被调制成干涉信号

上海拍频光电科技有限公司针对多种不同的应用场合,开发出了多种类型的干涉仪镜组。

主要型号和参数如下表:

名称
型号非线性误差光学细分光学效率工作轴数工作波长
备注
单光束干涉仪CIF0102-S<4.2nmλ/2>60%1633nm后入光,体积小
单轴角锥干涉仪CIF0102<4.2nmλ/2>60%1633nm后入光
单轴差分干涉仪
CDIF0102<4.2nmλ/2>60%1633nm后入光
PDIF0104<2.2nmλ/4>50%1633nm后入光
单轴平镜干涉仪PIF0104T<2.2nmλ/4>50%1633nm后入光
PIF0104R<2.2nmλ/4>50%1633nm右入光*
PIF0104L<2.2nmλ/4>50%1633nm左入光*
单轴探针干涉仪TIF0102<4.2nmλ/2>50%1633nm后入光
双轴角锥干涉仪CIF0102<2.2nmλ/2>20%2633nm后入光
双轴平镜干涉仪PIF0204T<2.2nmλ/4>20%2633nm后入光
PIF0204R<2.2nmλ/4>20%2633nm右入光
PIF0204L<2.2nmλ/4>20%2633nm左入光
双轴差分干涉仪CDIF0202<4.2nmλ/2>20%2633nm后入光
PDIF0204<2.2nmλ/4>20%2633nm后入光
三轴角锥干涉仪CIF0302T<4.2nmλ/2>12%3633nm后入光
CIF0302R<4.2nmλ/2>12%3633nm右入光
CIF0302L<4.2nmλ/2>12%3633nm左入光
三轴平镜干涉仪PIF0304T<2.2nmλ/4>12%3633nm后入光
PIF0304R<2.2nmλ/4>12%3633nm右入光
PIF0304L<2.2nmλ/4>12%3633nm左入光
四轴平镜干涉仪PIF0404T<2.2nmλ/4>8%4633nm后入光
PIF0404R<2.2nmλ/4>8%4633nm右入光
PIF0404L<2.2nmλ/4>8%4633nm左入光
五轴平镜干涉仪PIF0504T<2.2nmλ/4>7%5633nm后入光
PIF0504R<2.2nmλ/4>7%5633nm右入光
PIF0504L<2.2nmλ/4>7%5633nm左入光


备注:右入光是指正对着干涉仪的出光面,入光在右手侧

                 左入光是指正对着干涉仪的出光面,入光在左手侧

                 特殊要求可接受定制


部分干涉仪模型如下图:


        

单光束干涉仪及其被测角锥镜      单轴平镜干涉仪(后入光)   双轴平镜干涉仪(后入光)


          

三轴平镜干涉仪(左入光)     四轴平镜干涉仪(右入光)       五轴平镜干涉仪(右入光)



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