光学干涉仪
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光学干涉仪镜组将参考光束和测量光束在空间上分离，测量光束经过被测反射镜的反射后，返回干涉仪与参考光束发生干涉，被测镜的位移信号被调制成干涉信号。
上海拍频光电科技有限公司针对多种不同的应用场合，开发出了多种类型的干涉仪镜组。
主要型号和参数如下表：
| 名称 | 型号 | 非线性误差 | 光学细分 | 光学效率 | 工作轴数 | 工作波长 | 备注 |
| 单光束干涉仪 | CIF0102-S | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光，体积小 |
| 单轴角锥干涉仪 | CIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光 |
| 单轴差分干涉仪 | CDIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光 |
| PDIF0104 | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 | |
| 单轴平镜干涉仪 | PIF0104T | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 |
| PIF0104R | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 右入光* | |
| PIF0104L | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 左入光* | |
| 单轴探针干涉仪 | TIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 |
| 双轴角锥干涉仪 | CIF0102 | <2.2nm | λ/2 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
| 双轴平镜干涉仪 | PIF0204T | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
| PIF0204R | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 右入光 | |
| PIF0204L | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 左入光 | |
| 双轴差分干涉仪 | CDIF0202 | <4.2nm | λ/2 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
| PDIF0204 | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 | |
| 三轴角锥干涉仪 | CIF0302T | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 后入光 |
| CIF0302R | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 右入光 | |
| CIF0302L | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 左入光 | |
| 三轴平镜干涉仪 | PIF0304T | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 后入光 |
| PIF0304R | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 右入光 | |
| PIF0304L | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 左入光 | |
| 四轴平镜干涉仪 | PIF0404T | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 后入光 |
| PIF0404R | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 右入光 | |
| PIF0404L | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 左入光 | |
| 五轴平镜干涉仪 | PIF0504T | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 后入光 |
| PIF0504R | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 右入光 | |
| PIF0504L | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 左入光 |
备注：右入光是指正对着干涉仪的出光面，入光在右手侧
左入光是指正对着干涉仪的出光面，入光在左手侧
特殊要求可接受定制
部分干涉仪模型如下图：
单光束干涉仪及其被测角锥镜 单轴平镜干涉仪（后入光） 双轴平镜干涉仪（后入光）
三轴平镜干涉仪（左入光） 四轴平镜干涉仪（右入光） 五轴平镜干涉仪（右入光）
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