一）系统简介

上海拍频光电科技有限公司自主研发的光纤双频激光干涉仪系列（OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series，FDI）依然是基于双频外差干涉原理，与传统双频激光干涉仪系列不同的是，光纤双频激光干涉仪系列采用光纤进行光路传输，结合了双频外差干涉和光纤传输的优点，在保留了双频干涉的高精度基础上，提高了使用的便捷性，主要应用于精密运动控制、机床测校、精密轴系测校、各类计量标定等领域。

二）系统构成

上海拍频光电科技有限公司开发的光纤双频激光干涉仪由双频干涉控制器、各种光纤双频干涉仪（光纤探针干涉仪、光纤单轴干涉仪、光纤差分干涉仪、光纤三轴干涉仪）、被测反射镜、上位机软件等部分组成，如下图所示。

光纤双频激光干涉仪系统示意图

三）主要特点

主要特点如下：

•支持位移、速度、角度、直线度、平行度、垂直度等测量

•采用外差信号相位解调技术，测量速度和测量分辨率相互独立

•采用双频干涉技术，抗干扰能力强，易进行多轴扩展，测量结果噪声低

•单块数字信号处理器支持完全相互独立的6轴同时测量，并支持多处理器级联

•支持高精度环境误差补偿

四）主要性能

主要技术指标如下：

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