环境补偿模块-简介

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无论是双频激光干涉仪还是单频激光干涉仪,都是以激光波长作为基准的,而空气中的激光波长是随空气的折射率变化的,空气折射率又是随温度、压力、湿度等因素而变化的。因此,环境温度、压力、湿度等参数的变化会对激光干涉测量精度产生影响,这种影响被称为环境误差。

环境误差在激光干涉仪的系统误差里面占据较大的比例,尤其是对于大量程测量。而影响环境误差的几个因素当中,温度影响最大,大约可达1ppm,即1米的量程,温度变化1℃所产生的误差大约为1000nm;其次是气压的影响,大约为2.7ppb,即1米的量程,气压变化1Pa所产生的误差大约为2.7nm;至于湿度的影响则很小,大部分情况下可以忽略。

如果不对上述环境误差进行补偿,干涉仪的测量精度是很难达到纳米级的(尤其是大量程测量)常用的一种环境误差补偿方法是测量出环境参数(温度、压力、湿度等)信息,利用经验公式间接计算出实际的空气折射率和波长,进而对干涉仪测量结果进行补偿。

本公司开发的“环境补偿模块”,就是专门针对干涉仪环境误差补偿所开发的产品,它是“八通道温压湿采集模块”,包含6路温度探测、1路压力探测以及1路湿度探测。