本司开发的二维PSD传感器,采用二维PSD和角锥镜相结合进行位移测量。利用了角锥镜的出射光与入射光互相平行的特性,因此理论上测量结果是线性的,且光学上可分辨率倍增,结构简单,可进行二维位移进行测量。如果采用三组或者更多组二维PSD传感器,可实现六自由度位移测量。该方法具有原理简单、结构简洁、成本低、线性度好等优点。
本司开发的二维PSD传感器,将入光光纤、准直器、二维PSD等集成在一起,使用方便。主要性能如下:
需求指标 | 参数 | |
测量稳定性 | X/um(@8小时) | ±2 |
Y/um(@8小时) | ±2 | |
测量重复性 | X/um(重复上电5次) | ±1 |
Y/um(重复上电5次) | ±1 | |
测量精度 | X/um | ±1 |
Y/um | ±1 | |
量程 | X/mm | ±1.5 |
Y/mm | ±1.5 |
二维PSD传感器需要与本公司的激光器、PSD采集卡搭配使用。