光纤单轴干涉仪

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光纤单轴干涉仪(Fiber CCR Interferometer分为光纤单轴角锥干涉仪光纤单轴平镜干涉仪两大类。

光纤单轴角锥干涉仪的被测对象为角锥反射镜,主要用于测量一维运动台的线性位移,它有90°两种出光方式。

光纤单轴平镜干涉仪的被测对象为平面反射镜,主要用于测量二维运动台的线性位移,它有90°两种出光方式

光纤单轴平镜干涉仪与光纤单轴角锥干涉仪的机械接口完全相同,并兼容雷尼绍RLD10-0RLD10-90接口