光纤单轴干涉仪(Fiber CCR Interferometer)分为光纤单轴角锥干涉仪和光纤单轴平镜干涉仪两大类。它结合了光纤传输的便捷性和双频干涉的高精度。
光纤单轴角锥干涉仪的被测对象为角锥反射镜,主要用于测量一维运动台的线性位移,它有0°和90°两种出光方式。
光纤单轴平镜干涉仪的被测对象为平面反射镜,主要用于测量二维运动台的线性位移,它有0°和90°两种出光方式。
光纤单轴平镜干涉仪与光纤单轴角锥干涉仪的机械接口完全相同,并兼容雷尼绍RLD10-0、RLD10-90接口。主要区别在于,我司采用双频干涉原理,而雷尼绍采用单频干涉原理。