双频激光器是传统双频激光干涉仪的核心部件之一,它产生一束含有两个频率,偏振态相互垂直的激光。当其相互发生干涉时,便生成外差信号,通过对该外差信号的处理即可测量出被测物体的位移。这也是整个激光干涉测量系统的理论基础。测量系统利用激光的波长作为长度的基准,所以激光波长的任何改变都会导致测量误差。同时,激光器的频差决定了测量系统的最大可测量速度。
上海拍频光电科技有限公司提供的双频激光器,涵盖各种频差,可应对不同用户的需求。
主要型号和参数如下:
名称 | 型号 | 输出功率 (uW) | 频差 (MHz) | 波长稳定度(ppm/h) | 光束直径 (mm) | 参考信号输出 | 备注 |
双频 激光器 | SLH1520 | >300 | 1.5~2.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | |
SLH2025 | >300 | 2.0~2.5 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
SLH2530 | >250 | 2.5~3.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
SLH3540 | >250 | 3.5~4.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
ALH050 | >500 | 5.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
ALH075 | >500 | 7.5 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
ALH100 | >500 | 10.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
ALH150 | >500 | 15.0 | 0.002 | 3和9 | 电信号参考 | ||
ALH200 | >500 | 20.0 | 0.002 | 3和9 | 光信号参考 | ||
ALH150F | >500*2 | 15.0 | 0.002 | 光纤输出 | 无 | 双通道输出,必须与远程合光模块ROC09配合使用 | |
ALH200F | >600*2 | 20.0 | 0.002 | 光纤输出 | 无 | 双通道输出,必须与远程合光模块ROC09-A配合使用 |
其中两款光纤输出的双频激光器ALH150F和ALH200F需要和远程合光模块配合使用。两款远程合光模块的主要指标如下表:
名称 | 型号 | 输出光束直径(mm) | 光转换效率 | 输入 | 参考信号输出 | 配套的双频激光器型号 | 备注 |
远程合光模块 | ROC09 | 9 | >80% | FC/PC光纤 | FC/PC光纤输出光参考信号 | ALH150F | |
ROC09-A | 9 | >65% | FC/PC光纤 SMC电缆 | FC/PC光纤输出光参考信号 | ALH200F |
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